產品功能
快速去除晶圓上之殘留光阻，達到晶圓表面潔淨，蝕刻率同業最高
產品特色
．處理均勻性佳
．離子能量低、不損傷基板
．沒有電極及基板的汙染
．專利設計之特殊電漿電極
．高密度電漿源
＊電漿效率高、清潔效率高
＊可控制低的離子能量
＊結合化學反應性及物理撞擊性
．處理速度快、清潔效率高、可靠度高
．操作範圍廣
．可使用多種製程氣體
．設備穩定高，容易維護
．可依客戶需求作更改