產品特色
．高沉積速度，好的鍍膜均勻度
．可安裝濺鍍槍3支
．可通入多組氣體
．可增加偏壓
．容易操作和維護
．全自動及機台穩定性高
．可依照客戶需求
．可搭配電漿光譜分析儀做電漿強度分析及控制